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单晶硅专利技术2

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1.磁敏传感器阵列及其制造方法
2.单晶硅太阳电池绒面的制备方法
3.制作单晶硅太阳电池绒面的方法
4.用于纳米光子技术的单晶硅纳米膜的制备方法
5.硅-锗外延生长的产率改进
6.单晶硅片表面自组装聚电解质-稀土纳米薄膜的制备方法
7.量子逻辑器件的隧穿二极管制备方法
8.硅SOI基片上制造检测磁场/压力MOSFET的方法
9.横向绝缘栅双极型晶体管
10.“一”字形结构三维微型实心、空心硅针或刀
11.单晶硅棒制造方法和单晶硅棒结构
12.太阳能光导霓虹灯
13.使用金属污染及热处理识别单晶硅中的晶体缺陷区的方法
14.具有单晶基极的异质结双极晶体管及相关方法
15.单晶硅拉制炉用炭/炭保温罩的制备方法
16.一种新型的单面去扩散层方法
17.制备单晶硅片表面完整层的新途径
18.单晶硅的制造设备
19.单晶硅直径测定法及其设备
20.单晶硅生产设备
21.利用会切磁场和晶体及坩埚转速的组合控制硅晶体氧含量的方法
22.半导体器件及其制造方法
23.制备单晶的装置和方法
24.由多晶硅炉料制备熔硅熔料的方法
25.红、蓝、紫外光发射多孔硅的水热制备法
26.单晶硅炉传动轴用磁性液体密封装置
27.控制重掺锑或砷的硅片中氧含量的方法和装置
28.低缺陷浓度的硅
29.制备薄硅膜的方法
30.氮化镓结晶的制造方法
31.单晶硅片抗机械力的提高
32.热退火后的低缺陷密度单晶硅
33.从低缺陷密度的单晶硅上制备硅-绝缘体结构
34.无氧淀析的切氏硅晶片
35.生长低缺陷密度、自填隙为主的硅的拉晶设备
36.利用SOI光学波导的可拆卸光学无线收发装置
37.高质量单晶制造中堆积和熔化多晶硅的方法
38.制备具有均匀热过程的单晶硅的方法
39.微机械梳状电容式加速度传感器
40.玻璃衬底上可动硅微机械结构集成化的制作方法
41.消除自动掺杂和背面晕圈的外延硅晶片
42.用于控制空位为主的单晶硅热过程的方法
43.低氧碳单晶硅复投料自卸机构
44.标定单晶硅晶圆晶向的方法
45.剃刀刀片
46.一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器
47.一种太阳能台灯
48.控制重掺锑或砷的硅片中氧含量的方法和装置
49.半导体基片制造方法、半导体基片、电光学装置及电子设备
50.H 离子刻蚀金刚石核制备(001)高取向金刚石薄膜的方法
51.一种高频段微波二极管
52.具有应变的多层结构及具有应变层的场效应晶体管的制法
53.半导体器件的制造方法
54.互补金属氧化物半导体图像感测元件及制造方法
55.提拉单晶硅用石英玻璃坩埚和制造该坩埚的方法
56.肖特基势垒晶体管及其制造方法
57.薄膜电容器及其制造方法
58.内层透明电弧石英坩埚熔制机
59.宽带硅微机械双频微带天线
60.纳米硅超高速开关管
61.一种厚膜图形化绝缘体上的硅材料的制备方法
62.形成鳍状场效应晶体管器件中的结构的方法
63.具有均匀空位缺陷的单晶硅锭和晶片及其制备方法和设备
64.一种改进器件漏电表现的硅化物形成方法
65.硅外延晶片以及生产硅外延晶片的方法
66.一种蓝色发光二极管的制备方法
67.具有太阳能充电装置的防盗箱包
68.太阳能电池的硅原料
69.光生伏打元件及其制造方法
70.微晶玻璃瓷质复合板及其生产工艺
71.瓷质抛光砖及其生产工艺
72.继电器及其制备方法
73.单晶硅液晶显示面板的驱动系统与方法
74.高压热充氢制备纳米晶硅薄膜的方法及其专用设备
75.直拉单晶硅用砷掺杂剂及其制造方法及单晶硅的制造方法
76.制作压力传感器的方法
77.反射式单晶硅液晶面板以及使用此液晶面板的投影装置
78.主动式微型光纤连接器
79.单晶硅棒切方滚磨机床
80.反射式单晶硅液晶面板以及使用此液晶面板的投影装置
81.薄膜晶体管及其制造方法
82.高电子迁移率氢化纳米硅薄膜的制备方法
83.一种用于氮化镓外延生长的图形化衬底材料
84.一种制备六角有序FePt纳米颗粒阵列的方法
85.直拉式晶体生长炉自动控制方法
86.半导体隔离结构及其形成方法
87.单晶硅切割废液的处理回收方法
88.一种用于二氧化碳的激光的复合层反射镜
89.光缆障碍太阳能报警器
90.单晶硅炉控制装置
91.一种集成压阻二氧化硅悬臂梁超微量检测传感器、制作方法及应用
92.基于一维半导体纳米结构的光电传感器及其制作方法
93.制备凹陷源漏场效应晶体管的方法
94.光能回收利用装置
95.超声波清洗单晶硅片方法及其装置
96.棚式太阳能电站
97.半导体装置及其制造方法
98.用于氮化镓外延生长的衬底材料及制备方法
99.基于SOI硅片的非制冷红外传感器及其阵列和制造方法
100.半导体元件、半导体装置及它们的制造方法
101.一种SOI集成电路结构及其制作方法
102.掺氧硅基氮化物薄膜黄绿波段发光二极管及制备方法
103.半导体结构及形成该半导体结构的方法
104.半导体基片
105.半导体基片
106.非线性磁场单晶硅拉制方法及其装置
107.半导体发光器件的反射腔及其工艺
108.氮化硅涂层坩埚
109.振动型传感器及其制造方法
110.半导体器件及其制造方法
111.粒状硅原料供给装置
112.制造单晶硅的装置
113.改进的生长硅晶的方法
114.迁移率提高了的MOSFET器件及其制造方法
115.薄膜晶体管的制造方法、使用该方法的液晶显示装置和电子设备
116.真空微电子气体传感器
117.双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法
118.直拉生长单晶硅期间实时监测和控制氧的一氧化硅探针
119.切克劳斯基法生长硅的温度和时间关系的控制方法
120.动态随机存取存储器结构及其制造方法
121.半导体集成电容性加速度传感器及其制造方法
122.太阳能电池及其制造方法
123.容许工艺条件变动而制备无缺陷硅晶体的工艺
124.具有非均匀少数载流子寿命分布的单晶硅及其形成工艺
125.具有改进的内部收气的热退火单晶硅片及其热处理工艺
126.制备理想析氧硅晶片的工艺
127.任意大直径无缺陷硅晶体的生长方法
128.坩埚及其制造方法
129.抛光混合物和减少硅晶片中的铜混入的方法
130.依据喷墨印刷原理动作的印刷头的印刷晶片
131.在晶体生长过程中使用的硅熔体的锶掺杂
132.新型硅基蓝-紫光发光材料
133.纳米硅肖特基二极管
134.折叠式太阳能电源包
135.单晶硅炉传动轴用磁性流体密封装置
136.半导体器件三维接触的形成
137.分离装置、分离方法及制造半导体衬底的方法
138.结构自对准制作微机械热堆红外探测器的红外吸收层方法
139.用高生长速率制备低缺陷密度硅的方法
140.绝缘体上单晶硅(SOI)材料的制造方法
141.一种电暖画
142.太阳能旅游船
143.固体薄膜表面脂肪酸自组装单分子超薄润滑膜的制备方法
144.单片集成电容式硅基微传声器及其制作工艺
145.一种用于直拉硅单晶制备中的掺杂方法及其装置
146.直拉硅单晶炉热屏方法及热屏蔽器
147.一种多层结构绝缘层上锗化硅材料及制备方法
148.以氧化铝为埋层的绝缘层上硅结构的衬底材料的制备方法
149.新型环保固体蓄电池
150.一种稀土掺杂二氧化锆固体电解质纳米晶薄膜的制备方法
151.玻壳式避雷器浪涌过压放电管
152.光开关
153.电荷泵装置
154.固态成像装置及制造固态成像装置的方法
155.用于制备具有改善的栅氧化层完整性的单晶硅的方法
156.电光器件、电光器件的制造方法、液晶器件和投射型显示装置
157.双片型单向液体微泵及其制造方法
158.测量纳米级晶须材料杨氏模量的方法
159.一种用于直拉法生长单晶硅的硅籽晶夹持器
160.一种弯曲悬臂梁执行器及其制作方法
161.一种硅化物全自对准槽栅绝缘栅双极晶体管的制备方法
162.一种合成纳米硅线阵列的方法
163.掩模
164.利用坩锅旋转以控制温度梯度的制备单晶硅的方法
165.图案化导电聚苯胺薄膜的制备方法
166.离子感应场效应晶体管及制造方法
167.一种各向异性磁电阻坡莫合金薄膜的制备方法
168.薄膜晶体管及其制造方法
169.磁记录介质用衬底及其制造方法和磁记录介质
170.微光学装置
171.单晶硅膜的制造方法
172.在SOI光学平台上形成的亚微米平面光波设备
173.一种测量薄膜沉积速率的方法
174.一种双垂直自旋阀
175.X射线衍射相分析样品架及分析方法
176.浮栅闪存场效应晶体管
177.一种纳-微米多孔硅系列热电材料的制备方法
178.半导体影像感测组件的封装方法
179.一种减小超大规模集成电路接触孔电阻的方法
180.单一轴向排布的单晶硅纳米线阵列制备方法
181.采用局部绝缘体上半导体制作半导体器件的方法
182.具有ID标记的半导体晶片,及从中生产半导体器件的方法和设备
183.两面受光发电垂直设置光伏墙板
184.微型内混式催化燃烧器
185.运用晶格应变制备高电子迁移率氢化纳米硅薄膜的方法
186.一种钴硅化物的形成方法
187.单片硅基微型电容式麦克风及其制作方法
188.微尖端线列器件
189.掩模的制造方法
190.湿法腐蚀制造的微机械电容式加速度传感器
191.一种具有金属硅化物纳米结构的材料及其制作方法
192.硅构件及其制造方法
193.柔性显示基板
194.改善硅化镍层性能方法及形成PMOS晶体管方法
195.MEMS液晶光衰减器阵列及制作方法
196.一种用于直拉单晶硅制备中的掺杂装置
197.六硼化镨纳米线及其制备方法和应用
198.六硼化铕纳米线、纳米管及其制备方法
199.区熔单晶硅生长炉
200.软轴单晶硅炉

 
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