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锆钛酸铅厚膜材料的制备方法

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锆钛酸铅厚膜材料的制备方法:该方法包括前驱体溶液的配制,即将溶剂乙二醇甲醚、稳定剂乙酰丙酮和溶质醋酸铅、钛酸四丁酯和四正丁氧基锆以1.0M的浓度,在无水系统下配制成均匀稳定的前驱体溶液。然后在SrTiO#-[3]基片上进行匀胶得到干膜,并在快速热退火炉中分段升温进行热处理,得到所需厚度的锆钛酸铅(简称PZT)厚膜材料。通过将每层凝胶膜热处理后的厚度控制在120纳米,实现单一(001)取向的异质外延薄膜,从而形成厚度达3微米的厚膜材料。厚膜材料可适于光波导器件,微电子机械系统(MEMS)器件等方面的应用。

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