半导体锑化铟化学机械抛光液

半导体锑化铟化学机械抛光液：旨在提供一种以有机碱替代无机碱，通过添加螯合剂、活性剂降低产品表面粗糙度，减少划伤，提高平整度的锑化铟化学机械抛光液。按体积百分比由下述组分组成：SiO2 浓度为30-50％的硅溶胶，胺碱，螯合剂，表面活性剂，氧化剂，去离子水。将有效的解决锑化铟表面的划伤问题，提高产品的成品率；有效降低InSb的表面粗糙度。后清洗简单，可以降低后清洗中的费用。 

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