无腐蚀脉冲电化学抛光溶液及工艺：采用磷酸、硫酸、乙二醇、聚乙二醇、全氟表面活性剂、乙二胺四乙酸、Lan８２６、水为原料的抛光溶液， 抛光溶液可在较宽操作温度及电流密度下使用。
铜锌合金表面的电抛光方法:铜锌合金或铜锌锡合金表面电抛光方法.属于电解方法.电抛光液含有机膦酸,ｐＨ值为5-10.铜锌合金或铜锌锡合金的制品或镀层, 不经除油和去腐蚀膜预处理可直接电抛光或退镀,还适于表面有严重腐蚀膜的古旧铜锌合金或铜锌锡合金制品的复新。
电抛光和电镀方法:方法包括第一密度的凹槽区上金属层平坦之前在第一电流密度范围内在具有凹槽区和非凹槽区上的半导体结构上电镀金属层,凹槽区上的金属层平坦之后在第二电流密度范围内电镀。第二电流密度范围大于第一电流密度范围。在一个例子中,方法还包括在第二电流密度范围内电镀直到第二密度的凹槽区之上的金属层平坦,第二密度大于第一密度,此后在第三电流密度范围内电镀。
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